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열물성 분석 제품

적외선가열로 · RTA장치

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탁상형램프가열장치 MILA-5000시리즈

작은 샘플의 연구개발에 최적입니다.
고속 가열 · 고속 냉각, 클린 가열이 가능합니다.
다양한 분위기에서 가열 가능하며 온도 컨트롤러와 분위기 가변 챔버가 일체화된 소형 적외선 램프가열장치입니다.
가열 조작을 USB 연결을 통해 PC에서 간편하게 데이터 관리할 수 있습니다.​
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■ Mini Lamp Annealer MILA-5000 series

 

작은 샘플의 연구개발에 최적입니다.
고속 가열 · 고속 냉각, 클린 가열이 가능합니다. 
다양한 분위기에서 가열 가능하며 온도 컨트롤러와 분위기 가변 챔버가 일체화된 소형 적외선 램프가열장치입니다.  

가열 조작을 USB 연결을 통해 PC에서 간편하게 데이터 관리할 수 있습니다.​

 

Perfect for research and development on small samples.

Capable of high-speed heating, high-speed cooling, and clean heating.

This small, low-cost Infrared Lamp Heating System combines a temperature controller and a variable atmosphere chamber, capable of heating in an adjustable atmosphere.

Heating operations can be performed on a PC via a USB connection and data can be easily managed.

​

■ 용도​

  • 강유전체 박막의 결정성 어닐링
  • 이온 주입 후의 확산 어닐링, 산화막 생성 어닐링
  • Si 화합물 웨이퍼의 신터링, 얼로이처리
  • 유리 기판의 작열 어닐링
  • 열 사이클, 열 충격, 열 피로 시험
  • 승온이탈 시험, 촉매 효과 시험
  • Crystal annealing of ferroelectric thin films
  • Diffusion annealing after ion implantation and oxide film generation annealing
  • Sintering and alloying treatments of Si and compound wafers
  • Burn annealing of glass substrates
  • Thermal cycle, thermal shock, thermal fatigue tests
  • Temperature-programmed desorption tests, catalytic effect tests

 

■ 특징

  • 50 ℃/s의 고속가열
  • 진공, 가스, 가스 flow, 대기 및 임의 분위기 선택
  • 정밀한 온도 컨트롤
  • 탁상형으로 컴팩트한 디자인
  • 50 °C/s high-speed heating
  • Selectable atmosphere: vacuum, gas, gas flow, air
  • Precise temperature control
  • Compact, table-top design

 

■ 사양

 모델

MILA-5000-P-N (근적외선형)

 MILA-5000P-F (원적외선형)

 온도 범위

실온 ~ 1200 ℃

실온 ~ 800 ℃

램프

 근적외선 램프

원적외선 램프 

 시료 치수

 사각 20mm × 두께 2mm

 측정 분위기

 대기, 진공, 가스 Flow 중

 어플리케이션

 진공배기장치 (로터리 펌프 세트) 
냉각수 순환 장치