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소형 초임계 건조장치

CO2를 사용하지 않는, 새로운 초임계건조장치를 실현
Compact Supercritical Dryer

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■ 소형 초임계 건조장치 Compact Supercritical Dryer

초임계를 응용한 공정 장비입니다.

For Preventing pattern collapse

■주요용도

미세구조의 무 파괴 건조

에어로젤등 다공질 막 형성

광학부품 등의 세정 건조 (파티클 제거)

■ 초임계 건조란

미세 구조의 미세화에 따라, 세척 · 린스 후 건조 린스 액의 표면 장력에 따른 모세관 힘으로 구조가 붕괴하는 현상이 생깁니다. 이 문제를 해결하기위한 표면 장력이 작용하지 않는 것으로서, 초임계 유체가 알려져 있습니다. 초임계 유체는 임계점을 넘어선 기체와 액체의 중간적인 특성을 가지고있는 것으로, 기액 평형 곡선을 거치지 않고 (기액 계면 때문에 표면 장력의 작용이 없이) 건조시킬 수 있습니다 .

초임계 건조는 이산화탄소를 이용하는 경우가 대부분이지만, 사용하기 어려운 면도 있기 때문에 이산화탄소를 사용하지 않는 새로운 초임계 건조를 실현했습니다.

■ 특징

1. 고압 가스는 필요 없음

초임계 유체는 기존의 이산화탄소 (CO 2 )가 아닌, 상온 상압에서 액체의 불연성 · 저독성의 불소계 용제를 사용하고 있습니다. 따라서 CO 2 의 고압 탱크는 필요하지 않습니다. 불연성이므로, 인화 등의 걱정도 없습니다.

임계 압력이 CO 2 에 비해 약 1/3이되기 때문에 대형 장비의 제작도 용이합니다.

2. 간단한 조작　

약액을 넣고 시작 버튼을 누르면 간단한 조작으로 초임계 상태를 만들어 낼 수 있습니다.

3. 약액의 성능 (세정 효과 등)을 최대한 살릴 수 있게끔 초임계 처리합니다.

불소계 용제는 아크릴계 수지를 용해하기 쉬운 등의 용해성 및 입자가 다시 부착하기 쉬운 특성을 갖는 것입니다. 이를 응용하여 능률적인 새로운 초임계 세정을 할 수 있습니다.

4. 공간 절약 설계　

연구 개발에 적합한 컴팩트한 디자인으로 장소에 구애받지 않습니다.

5. 설치시에는 전기 공사 불필요

100V 콘센트가 있으면 동작 가능합니다. 간편하게 초임계 유체 처리 실험을 할 수 있습니다.

■ 초임계 건조효과 패턴붕괴 및 달라붙음 억제

SOI 기판 (Si 층 / SiO 2 희생 층 / Si 기판)을 이용하여 형성한 빔 구조를 사용하여, 불소계 초임계 건조의 효과를 입증했습니다. Si 층 패턴 형성 후, 완충 불산에 의한 희생 층 식각, 세정 및 건조 공정에서 질소 분위기 하에서 건조 및 초임계 건조를 비교했습니다. 보통의 질소 건조 (왼쪽 그림)는 세척수의 표면 장력 * 1에 의해 Si 층이 Si 기판에 붙어 버리지만, 초임계 건조 (오른쪽 아래)는 패턴끼리 붙는일이 없고, 무 파괴 건조를 실시할 수 있습니다.

캡처.JPG

* 1 참고 : Appl. Phys. Lett., 66 (20), 2655 (1995).

■ 사양

형식	PCS-4SC
표준 처리 압력	2.6MPa
표준 처리 온도	200 ℃
처리 가능 시료 크기	20mm□ 이하
장치 외형 크기	500W × 400D × 470H mm

시료 크기 Up 등의 희망에 따라 대형 장비의 제작도 가능합니다.

* 사양은 예고없이 변경될 수 있습니다. 미리 양해 바랍니다.

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